芯源微宗润福：18载半导体路一条好汉、一个方向、一面旗帜

  “回望18年前，创业之初可谓是‘少年心事当拿云’，年轻时胸怀凌云壮志，目标远大，立志要做国际先进，做世界500强，不想当将军的士兵不是好士兵。十几年枪林弹雨打拼下来发现没阵亡、没受伤、没残疾，能当一名团长已属不易。”回顾过去的发展，宗润福直言，“未来，我们还会继续奋斗和努力，成为受社会尊重的世界级企业。”

  距离宗润福单枪匹马闯入芯片装备行业，已经过去18年。沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称“芯源微”）也从“一条好汉、一个方向、一面旗帜”持续不断的发展壮大，成长为半导体装备行业的领头羊。回顾过去18载春秋，不仅是芯源微成长的缩影，也是中国芯片行业发展的历史轨迹。

  乌飞兔走、时光踏马。2002年底，中国科学院沈阳自动化研究所（简称“沈自所”）发起创立了中韩合资的沈阳芯源先进半导体技术有限公司，时任沈自所科技处处长的宗润福放弃了稳定的职位，一个猛子扎到半导体装备领域，开启了与光刻工序涂胶显影设备的半生缘。

  创业初期，国内的半导体市场尚未开蒙，一穷二白的环境下，国产装备应用几乎为零，仅有的几条生产线采购设备全部依赖进口。诸如光刻工序涂胶显影这类高端设备市场，完全掌握在日本东京电子 （TEL）、日本迪恩士（DNS）、德国苏斯微（SUSS）等巨头的手里，芯源微需要的核心部件和精密加工件全部需要进口，研发难度可想而知。

  当时，国产半导体设备无论是性能、可靠性还是价格都无法与外国进口设备匹敌。芯源微前行的每一步，都是刀尖舔血、极为艰难。初期，只能依靠原始股东投资、政府项目支持和银行贷款维持生计。

  2010年前后，国内LED市场进入快速发展阶段，芯源微凭借多年积累，产品逐步走向成熟，产品性能反超进口设备，打破了国外垄断，实现了进口替代，并开始与国际一流大公司同台竞争。

  时光流动中，中国半导体行业也已发生了天翻地覆的变化。数十年几经波折，宗润福感慨万千，境遇沧海桑田、已如天渊之别。

  截至目前，芯源微产品累计销售800余台套，作为主流机型成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、东莞中图等在内的多家国内知名一线大厂，成为当之无愧的国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。

  2019年，多年蛰伏的芯源微终于登陆长期资金市场，数百人的开发团队、多年的默默努力得以在更大的资本舞台展现。不仅成为辽宁省科创板第一股、中国科学院（简称“中科院”）科创板第一股，更是中国半导体光刻设备上市第一股。

  本刊记者：从2002年算起，芯源微已经走入第18年。18年来，有哪些战略的变化，经历了哪几个阶段？

  宗润福：2002年12月17日，在浑南新区的全力支持下，沈自所发起创立了中韩合资的芯源微。

  回望十八年的风雨历程，是芯源微人砥砺奋进的创业史。芯源微“初长成”的奋斗历程大致可分为以下四个阶段：

  （1）生存阶段（成立—2009年）：创业之初，举步维艰。此阶段战略似乎很遥远，每天最需要仔细考虑的是生存问题，生存是第一要务。

  （2）起步阶段（2009—2015年）：随着LED及圆片级封装市场形成及发展，芯源微步入起步阶段，收入规模从1000万提升至1亿元。在国家科技重大专项的支持下，芯源微在LED及圆片级封装领域实现重大突破，产品逐渐趋于成熟，因此在LED及圆片级封装领域市场形成之后，芯源微能快速抓住机遇，抢得先机，迅速壮大发展，靠产品打市场，凭实力赢得客户认可。

  （3）提高阶段（2015—2020年）：企业要想得到长远发展必须要扎扎实实修炼内功，综合提升内功才能提升性价比、竞争力。公司发展到一定阶段，面临着新的客户的真实需求，为国际一流大客户提供服务，与国际一流的大公司充分竞争，也是一个自我完善和提高的过程，通过这一阶段的技术储备和质量提升，设备精细化程度、先进性及竞争力提升，用品质打造品牌，靠品质创造效益。企业进入了下一个阶段，又迎来了一个快速地发展期。

  （4）快速地发展阶段（2020年）：2019年12月16日，芯源微在上交所科创板成功上市，搭上了加快速度进行发展的列车。上市后企业资金相对充裕，既要加快速度进行发展、多维发展，更要稳扎稳打、修炼内功。未来的发展阶段要凭企业综合竞争力在更广阔的市场、更激烈的竞争中赢得更长远的发展。

  本刊记者：成立初期，IC装备领域并不成熟，仍处在行业探索阶段，当时市场环境是怎样的？发展至今，行业环境有哪些变化？

  宗润福：芯源微成立于2002年，由沈自所发起创立。公司成立之初，无论是沈自所、中科院系统乃至国内的半导体装备几乎是零基础。芯源微与韩国公司合资合作，通过技术转让实现高起点产业高质量发展，切入半导体装备领域并扎根其中。

  首批员工赴韩国STL公司开展技术培养和训练，充分借鉴韩国公司在集成电路涂胶显影设备设计制造方面的技术和产品的优势，少走弯路，虽说双方合作没有预想那么顺利，也未达到预期目标，但回望过去，公司成立初衷及取得的效果是值得肯定和庆幸的。

  在引进技术基础上，通过自主研发及消化吸收再创新，成功摸索出一条通往成功的有效路径，并牢牢将发展的“引擎”掌握在自己手中，开发出了适应LED领域低成本高产能要求、适应圆片级封装领域厚胶特征工艺要求的涂胶显影设备，并抓住了LED及圆片级封装领域发展机遇，成功打开国内市场，开辟了芯源微生存发展之路。

  创业之初，举步维艰，国内半导体市场尚未形成，国产装备应用几乎为零，供应链也要从零做起，为数不多的几条生产线%依赖进口。在国家科技部、北京市及上海市在刻蚀机和光刻机两大核心装备领域的战略布局推动下，北方华创科技集团股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司同期成立。中电45所、48所也在封装类设备及离子注入机领域着手布局，芯源微成为当期国内为数不多的半导体设备生产企业之一。

  由于国产半导体设备刚刚起步，国产设备无论是工艺性能、可靠性、符合度都与客户的真实需求存在很大差距，价格甚至无法与二手进口设备竞争。国产设备与国外进口设备相比缺乏竞争力，市场占有率为零，没办法得到客户认可。国产半导体装备企业举步维艰，生存环境恶劣。由于没办法形成良性循环和造血能力，企业只能依靠初始股东投资、政府项目支持及银行贷款维持生存，企业吸引人才的能力、团队稳定性、竞争力相对薄弱，公司可谓风雨飘摇，企业生存十分不易。芯源微能够生存在某些特定的程度上得益于中科院非货币性资产、资源及影响力。这些资源也对芯源微的发展及融资提供了巨大的帮助。

  2010年前后，恰逢国内LED市场形成并加快速度进行发展，通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项，企业技术和产品得以长足进步，通过客户端的应用提高，产品趋于成熟，市场竞争力逐步提升。芯源微LED领域涂胶显影设备同韩国、中国台湾等行业有突出贡献的公司同种类型的产品相比，从最初工艺性能可靠性差，靠低价销售夹缝求生，到后来与国际有突出贡献的公司平起平坐，再到最后工艺性能、产能占地等设备综合性能反超进口设备，甚至售价也略高于同类进口设备，但设备总体性价比更高，为客户创造更高的价值，从而快速抢占国内LED市场，打破国外垄断，实现进口替代。芯源微以优质的服务、客制化的优势，赢得了客户认可，建立了客户忠诚度和品牌认可度。

  中美贸易争端之后，华为供应链回归，集成电路产业得到社会、政府、民间、资本等格外的重视。扶持集成电路产业快速地发展，客户端优先评估和使用国产设备，压力与动力同在。总体来说，目前集成电路行业环境与企业创立之初相比发生了巨大的变化，可谓是冰火两重天，集成电路产业迎来最好的发展时期。

  本刊记者:在成长的路程中，芯源微有哪些始终秉持的理念，这些理念导致了怎样的成长路径？

  宗润福：半导体行业对设备的可靠性要求极高。自成立以来，芯源微从始至终坚持以技术创新为核心发展目标，以质量保证为首要发展任务的经营理念，为客户创造价值，靠品质创造品牌，质量永远放在第一位。可靠性对于中科院体系企业是至关重要的。中科院很多研发成果尚处于实验室阶段，并未经历中试和产业化，如何将成果变成产品、实现成果产业化及批量应用，可靠性是关键。

  2010年前后，有国产设备厂家在行业发展研讨会上抱怨“客户购买设备时给出的是国产设备的价格，但要求的却是国际一流公司进口设备的性能，那怎么能保证呢？低价格就必须牺牲技术指标或设备的可靠性”。

  以手表举例论证设备可靠性的重要性。1万块钱的手表不算贵，贵的手表比比皆是，100块钱的手表也不算便宜，更便宜的也有很多，但是花100块钱买的手表也必须要走时精准，不能走走停停耽误事儿。要想发展国产设备，就必须要成熟、可靠、用得住，要为客户创造价值，功能不一定要多么复杂，指标不一定要多么先进，但一定要可靠。

  如果芯源微产品质量不可靠，这500台设备在客户现场，假设每台设备每年发生一次事故，也就从另一方面代表着在客户端，芯源微的设备天天都会出现问题，那么我们就疲于奔命，出厂设备越多，我们就会越累，客户体验就会越差，所以一定要保证可靠性，若设备的Up time低于85%，那么设备就是不可用的。可靠性永远放在第一位，这是芯源微始终秉承的理念。尽管一直在降成本，提高竞争力，但是芯源微产品的核心部件可靠性及工艺指标一定要保证，不会因为成本下降而降低产品的质量及可靠性。产品的质量首先是通过研发、设计、验证、制造出来的，不是通过质量检验测试出来的，更不是通过售后服务把问题解决的，一定要遵循质量管理体系，实现过程控制把关，从源头实现对产品质量的有效把控。凭借这种理念，芯源微的产品赢得了客户的广泛认可，设备销量持续增长，始终保持健康发展的趋势，芯源微的设备也为客户创造了价值。

  截至目前，芯源微设备累计销售800余台套，作为主流机型成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、东莞中图等在内的多家国内知名一线大厂，堪称国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。

  本刊记者：在具体产品和业务上，芯源微的主营业务有哪些？在业务的布局和拓展上有何变化？过去，有哪些关键性的事件和时间节点？

  宗润福：芯源微自成立以来一直从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司主要营业业务、主要经营模式等均未出现重大变化。芯源微主要营业产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）。

  2004年，公司首台小尺寸涂胶显影设备出厂，并销售至中国电子科技集团公司第十三研究所。

  2005年，公司成功突破包括高粘厚胶膜涂覆技术、渐进式烘烤技术、胶丝控制技术等关键技术，自主研发生产的8英寸先进封装领域用涂胶设备产品成功销售至江阴长电先进封装有限公司，开辟了8英寸先进封装凸点工艺国产化新领域。

  2007年，公司自主研发生产的12英寸先进封装涂胶/显影设备产品成功销售至江阴长电先进封装有限公司，并荣获“2007年中国半导体协会创新产品和技术奖”，实现了国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的突破。

  2008年，公司承担的国家“十一五”国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的研发与产业化”项目获得立项批复，项目执行期2009-2012年，项目执行期内公司成功突破凸点封装工艺相关的超厚光刻胶膜的涂覆、显影、单片湿法多工艺药液同腔分层刻蚀等多项核心关键技术。

  2011年，公司抓住国内LED产业加快速度进行发展的机遇，推出LED芯片制造领域用涂胶/显影机等半导体专用设备，凭借产品在省胶、高产能等方面的良好性能批量销售至三安光电、华灿光电等国内一线年，公司承担的国家“十二五”国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目获得立项批复，项目执行期为2012-2015年，项目执行期内公司成功突破集成电路前道晶圆加工领域光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷、精细化显影、精密温控热处理等多项核心关键技术。

  2013年，公司自主研发的先进封装领域用喷雾式涂胶设备成功打入台湾市场，批量销售至全球最大的晶圆代工企业台积电子公司台湾精材，用于iPhone手机指纹识别器件的生产。

  2016年，公司生产的先进封装领域用涂胶/显影设备批量销售至台积电，用于iPhone7手机A10处理器的生产；同年，公司主持制定的行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》（SJ/T11576-2016）正式颁布实施。

  2018年，公司自主研发的首台国产高产能前道涂胶设备“奉天一号”出厂并在上海华力微电子有限公司（简称“上海华力”）进行设备工艺验证，正式进军市场空间更广阔的集成电路制造前道晶圆加工环节用涂胶显影设备领域。目前，上海华力机台已通过工艺验证并成功实现销售。

  2019年，公司自主研发的集成电路制造前道晶圆加工环节用单片式清理洗涤设施出厂，并在中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。

  本刊记者：芯源微起源于中国科学院沈阳自动化研究所，在成长过程中，与中科院有哪些联系？在投后赋能方面，中科院体系给芯源微提供了哪些帮助？

  宗润福：芯源微脱胎于中科院系统，中科院赋予芯源微最宝贵的财富是中科院踏实严谨的工作作风、国家队的地位及赋予的信心，以及长期积累的资源及社会影响力，这些非货币性资产对芯源微的发展和融资提供了巨大的帮助。

  芯源微的发展过程中，国家科技重大专项的支持至关重要，不单单是资金的支持，也包括进入国家队的资源、影响和地位；不仅仅在于成果产业化带来的收益，也包括承担和完成国家科技重大专项过程中形成的一些国内外资源。

  回顾过去18载春秋，不仅是芯源微成长的缩影，也是中国芯片行业发展的历史轨迹。

  公司发展较快阶段，流动资金不足，几乎是依靠短期贷款解决企业长期的不足。如遇特殊情况贷款不能如期归还，就需要申请短期贷款展期，但前提必须先将原贷款如数归还，然后再重新放贷。沈自所下属公司在充分评估企业周转能力及经营风险的情况下能够给大家提供短期拆借，解决过桥问题。背靠沈自所这棵大树，银行贷款审批高看一眼，同时也可提供部分无抵押信贷支持，中科院系统的影响力等非货币性资产确实发挥了极大的作用。

  当芯源微在LED和圆片级封装领域站稳脚跟，形成了产品的优点和稳定的客户群，具备一定的造血能力之后，拥有中科院背景的中国科技产业投资管理有限公司（简称“国科投资”）风险投资成功注入，促进了芯源微逐步发展和提高。

  国科投资董事长孙华与芯源微相识多年，相互之间有充分的了解和信任，从而顺利完成投资。投资赋能方面，国科投资成功入股不仅仅解决了芯源微资金需求，同时国科投资的管理、见识、资源等对芯源微的发展也起到了很好的推动作用，包括面临诱惑时的规避作用。比如发展过程中面临新三板挂牌的选择，新三板是国家倡导的，各级政府大力推动的，芯源微也十分符合新三板的要求，但国科投资提出明确反对意见，现在回头发现，当初如果登陆新三板，再要转板退市，无形中增加了很多困难，国科投资当初的建议是十分具有先见之明的。

  本刊记者：目前正在紧张筹备的“中科院科学技术创新投资产业联盟（简称‘中科院科创投资联盟’）”中，芯源微将扮演怎样的角色？中科院科创投资联盟对于芯源微会有怎样的影响和作用？

  宗润福：中科院科创投资联盟由研究所、转制企业、所办企业及投资机构等组成，就犹如皇家园林动物、圈养动物、放养动物与野生动物的区别。芯源微介于放养动物与野生动物之间。

  在充分的市场之间的竞争中，芯源微一方面受益于中科院系统人才及成果的支持，另一方面，也深刻感受到中科院本身的局限性和弱点，包括发展节奏、狼性及胸怀等。在胸怀方面，科学院很多专家辛辛苦苦十几年甚至几十年的研发成果，希望牢牢掌握在自己手中，自行转化，不利用社会资源，仅凭借一己之力很难将产业做大，致使很多成果得不到充分社会化；另外，部分成果并未经历中试阶段，确实并未完全成熟。

  身在中科院系统的象牙塔中，可能很难意识到自身的一些局限性，芯源微虽然脱胎于中科院系统，但在充分经历市场之间的竞争的洗礼与磨炼之后，芯源微整体的节奏和狼性也有了很大的提升，生命力更加顽强，相信芯源微的加入势必会对中科院科创投资联盟体系起到一些冲击和补充的作用。

  回望过去的18年，芯源微的发展一方面立足于自主研发，另一方面也充分借鉴国际先进的技术，聘请来自日本、韩国、美国的技术顾问及全职专家，借助外脑，少走弯路，快出成果。但是芯源微终究是一个小企业，视野、平台、资源等都具有很大的局限性。虽然芯源微经历数年的研发及技术积累，产品的总体技术水平有了很大的提升，但与国际前沿技术仍有很大差距，在半导体设备国产化的过程中势必会遇到技术上的挑战及国际大公司的打压。芯源微想要持续发展，就必须持续投入研发，但是芯源微的资源、资本是有限的，联盟的成立对于芯源微的综合技术能力的提高、资源的扩充、产学研用深度合作以及创新链、产业链、资本链融合方面，一定会发挥重要的推动作用。同时中科院具有多学科的专业优势，芯源微的产品是光机电、流体力学、材料学、化学等多学科综合应用的高精尖一体化设备，希望能充分借助联盟成员在所有的领域的专业优势，对芯源微产品性能提升、核心部件研发、前沿工艺攻关等方面起到积极的促进和提升作用。

  芯源微衷心希望中科院科创投资联盟能在加强产业上下游合作等方面发挥实质性作用，希望联盟间企业能紧密合作，相互促进，使联盟具有强大的生命力及内生动力。

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